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LED의 제조방법
| 특허명 | LED의 제조방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2007년 2월 20일 |
| 공개일 | 2008년 8월 25일 | 공고일 | 2010년 11월 29일 |
| 요약 |
LED의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 LED의 제조방법은 (a) 말단에 히드록시기를 포함하는 폴리스티렌-폴리메틸메타크릴레이트의 랜덤공중합체를 이용하여 석영기판의 상부면에 표면개질층을 적층하고 뉴트럴 브러쉬(neutral brush)를 형성하는 단계; (b) 상기 뉴트럴 브러쉬의 상부면에 폴리스티렌-폴리메틸메타크릴레이트의 블록공중합체막을 적층하고, 어닐링함으로써 상 분리하는 단계; (c) 상기 상 분리된 블록공중합체막 중 폴리메틸메타크릴레이트 영역을 제거함으로써 나노패턴으로 이루어진 나노템플레이트를 형성하는 단계; (d) LED의 발광면과 상기 나노템플레이트가 형성된 석영기판의 하부를 부착하는 단계; (e) 상기 나노템플레이트를 이용하여 상기 석영기판을 식각하는 단계; 및 (f) 상기 석영기판을 이용하여 상기 LED의 상부면을 식각하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따르면, 제조시간을 절감하면서도 LED의 상부면에 수직방향으로 복수개의 나노크기 홈을 규칙적으로 형성시킬 수 있어서 광추출 효율이 우수하고 LED에는 열에 의한 악영향을 미치지 않기 때문에 장수명을 갖는 LED를 제조할 수 있다.
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
| 광가교 및 열가교성 표면개질용 랜덤공중합체를 이용한태양전지의 제조방법 | 2007년 6월 8일 | ||
| 유기발광 트랜지스터 및 이의 제조방법 | 2016년 12월 29일 | ||
| 태양전지 및 그 제조방법 | 2010년 7월 12일 | ||
| 롤 스탬프의 제조방법 | 2010년 8월 6일 | ||
| 유기발광 트랜지스터 및 이의 제조방법 | 2017년 1월 4일 | ||
