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나노 구조체, 이를 포함하는 센서 및 그 제조방법
| 특허명 | 나노 구조체, 이를 포함하는 센서 및 그 제조방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2008년 8월 29일 |
| 공개일 | 2010년 3월 10일 | 공고일 | 2011년 6월 13일 |
| 요약 |
복수의 전극이 형성되어 있는 기판; 및 상기 복수의 전극을 연결하는 나노 구조체를 포함하고, 상기 나노 구조체는 복수의 만입부 (indent) 를 포함하는, 센서 및 이의 제조방법을 개시한다. 나노 구조체의 만입부의 두께는 다른 부분보다 작기 때문에 적은 양의 가스 분석물에 노출되는 경우에도 나노 구조체를 통해 흐르는 전류를 실질적으로 0 이 되도록 한다. 나노 구조체, 센서
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
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