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알루미나용 식각액 조성물
| 특허명 | 알루미나용 식각액 조성물 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2010년 1월 13일 |
| 공개일 | 2011년 7월 20일 | 공고일 | 2012년 6월 20일 |
| 요약 |
본 발명은 Al 2 O 3 용 식각액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 아미노계 실란 용액 및 물을 포함함으로써 Al 2 O 3 을 선택적으로 식각하여 수 ㎛ 크기의 패턴을 형성할 수 있는 Al 2 O 3 용 식각액 조성물에 관한 것이다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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