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자외선 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작
| 특허명 | 자외선 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2010년 6월 1일 |
| 공개일 | None | 공고일 | 2011년 11월 25일 |
| 요약 |
미세 패턴이 표면 상에 형성된 고분자 몰드 위에 투명 산화 물질의 기능성 용액을 스핀-코팅하고, 원통 형상의 유리관 위에 접착 물질을 코팅하여 유리관 외부에 접착층을 형성한 후, 유리관을 마스터 몰드 위에 가압하여 굴려 기능성 물질을 전사시킨다. 그리고 전사된 기능성 물질의 나노 패턴에 이형 처리를 하여 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 몰드를 제작한다. 이를 통해 내구성이 형상되고 이음새 부분의 결함이 생기는 문제를 해결하며 공정이 저렴한 투명 롤 몰드를 제작할 수 있다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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