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주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
| 특허명 | 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2010년 5월 27일 |
| 공개일 | 2011년 12월 5일 | 공고일 | 2011년 12월 16일 |
| 요약 |
본 발명은 주사전자현미경을 이용한 전자소자 관측시 전자소자가 휘어진 상태를 유지한 채로 관측 가능하도록 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 관한 것으로서, 시료의 양단을 지지하도록 적어도 한 쌍으로 마련되며, 상호 대향하는 면에는 상기 시료의 양단이 삽입되어 상기 시료가 휘어진 상태에서 발생하는 횡방향의 압력을 지지하는 끼움홈이 형성되는 지지부; 상기 지지부에 장착되는 시료의 휘어지는 정도가 조절되도록 상기 지지부를 이동시킴으로써 상기 지지부 사이의 간격을 조절하는 간격조절부; 상기 지지부의 경로를 안내하는 가이드부; 주사전자현미경의 시료장착대(sample stage)에 상기 지지부를 고정하는 고정틀;을 포함하며, 상기 끼움홈은 단면이 직각삼각형 또는 역직각삼각형 형상을 가짐으로써, 상기 끼움홈의 단면의 형상에 따라 삽입되는 시료가 상측 또는 하측으로 휘어지는 것을 특징으로 한다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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