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일체화된 모션 증폭 및 안내 기구를 이용한 초정밀 선형 스테이지
| 특허명 | 일체화된 모션 증폭 및 안내 기구를 이용한 초정밀 선형 스테이지 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2010년 4월 13일 |
| 공개일 | 2011년 10월 19일 | 공고일 | 2011년 10월 24일 |
| 요약 |
본 발명은 일체화된 모션 증폭 및 안내 기구를 이용한 초정밀 선형 스테이지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초정밀 선형 스테이지는 제1 방향으로 선형 이동 가능한 출력 플레이트와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 출력 플레이트와 교차하도록 배치되어 전원의 인가 여부에 따라 상기 제2 방향으로 변위를 발생하는 변위 발생 소자와, 상기 출력 플레이트의 상기 제2 방향 양측에 상기 제1 방향을 중심으로 대칭적으로 설치되어 상기 출력 플레이트가 상기 제1 방향으로 선형 이동하도록 상기 변위 발생 소자의 상기 제2 방향으로의 변위를 상기 출력 플레이트로 증폭하여 전달하는 한 쌍의 변위 증폭 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 구조를 간소화하여 제조 비용을 감소시킴과 동시에, 대칭 구조에 따라 열변형에 의한 오차를 감소시키고 기생운동을 제거하여 정밀도를 향상시킬 수 있다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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