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스트레인 센서의 제조 방법 및 이를 통해 제조된 스트레인 센서
| 특허명 | 스트레인 센서의 제조 방법 및 이를 통해 제조된 스트레인 센서 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2019년 2월 12일 |
| 공개일 | None | 공고일 | 2020년 3월 27일 |
| 요약 |
본 발명은 스트레인 센서의 제조 방법 및 이를 통해 제조된 스트레인 센서를 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 스트레인 센서의 제조 방법은 유연한 절연성 기판 상에 제1 표면 리간드를 포함하는 금속 나노 입자를 코팅하여 감지부 영역 및 전극부 영역을 포함하는 금속 나노 입자 박막을 형성하는 단계; 상기 금속 나노 입자 박막의 감지부 영역 상에 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스크 패턴이 형성된 금속 나노 입자 박막을 제2 표면 리간드가 분산된 리간드 치환 용액에 접촉시키는 제1 치환 단계; 상기 금속 나노 입자 박막의 감지부 영역 상에 형성된 상기 마스크 패턴을 제거하는 단계; 및 상기 마스크 패턴이 제거된 상기 금속 나노 입자 박막을 상기 제2 표면 리간드가 분산된 리간드 치환 용액에 접촉시켜 감지부 및 전극부를 형성하는 제2 치환 단계;를 포함하고, 상기 제2 표면 리간드는 상기 제1 표면 리간드 대비 리간드 길이가 짧은 것을 특징으로 한다.
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