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반도체 소자의 공정상태 감지 시스템 및 방법
| 특허명 | 반도체 소자의 공정상태 감지 시스템 및 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 12월 26일 |
| 공개일 | 2013년 7월 4일 | 공고일 | 2014년 2월 6일 |
| 요약 |
본 발명은 반도체 소자의 공정상태 감지 시스템 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 서로 다른 지연량을 갖는 발진신호를 출력하는 복수 개의 딜레이모듈을 포함하는 딜레이부; 및 상기 딜레이부의 복수 개의 딜레이모듈로부터 서로 다른 지연량을 갖는 발진신호를 입력받아, 복수 개의 각 딜레이모듈 내 인버터의 개수와 상기 딜레이모듈로부터 입력받은 발진신호의 서로 다른 지연량의 차이를 곱한 값에 기초하여 공정상태를 판단하는 비교판단부;를 포함한다. 이러한 구성에 의해, 본 발명의 반도체 소자의 공정상태 감지 시스템 및 방법은 복수 개의 딜레이모듈로부터 측정한 각 지연량의 차이에 따라 반도체 소자의 공정상태를 용이하게 확인할 수 있는 효과가 있다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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