기술 검색
태양전지 제조 장치 및 이의 제조 방법
| 특허명 | 태양전지 제조 장치 및 이의 제조 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 6월 22일 |
| 공개일 | 2013년 1월 2일 | 공고일 | 2013년 3월 18일 |
| 요약 |
본 발명은, 본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판의 일면 상에 반사 방지 그루브를 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 파우더를 포함하는 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 파우더 에어로졸을 공급하는 파우더 공급부를 구비하는 파우더 공급 유니트;를 구비하는 태양전지 제조 장치를 제공한다.
|
||
관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
| 무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제어 방법 | 2012년 1월 18일 | ||
| 태양전지 그리드 전극 제조 장치 및 이를 사용한 그리드 전극 제조 방법 | 2011년 2월 24일 | ||
| 태양전지 도선 전극 제조 장치 | 2011년 2월 10일 | ||
| 무기물 박막 태양전지 제조 장치 | 2011년 2월 10일 | ||
| 태양전지 전극 및 페시베이션층 제조 장치 | 2011년 6월 22일 | ||
