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태양전지 전극 및 페시베이션층 제조 장치
| 특허명 | 태양전지 전극 및 페시베이션층 제조 장치 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 6월 22일 |
| 공개일 | 2013년 1월 2일 | 공고일 | 2013년 3월 14일 |
| 요약 |
본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 챔버 내에, 상기 태양전지 기판 상에 태양전지 전극을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 금속 파우더를 포함하는 금속 파우더 에어로졸을 토출하는 전극 노즐 및 상기 태양전지 전극의 일면을 페시베이션시키는 페시베이션 층을 형성하기 위하여 상기 태양전지 전극을 향하여 세라믹 파우더를 포함하는 세라믹 파우더 에어로졸을 토출하는 페시베이션 노즐을 포함하는 노즐부와, 상기 전극 노즐에 상기 금속 파우더 에어로졸을 공급하는 금속 파우더 공급부 및 상기 페시베이션 노즐에 세라믹 파우더 에어로졸을 공급하는 세라믹 파우더 공급부를 포함하는 파우더 공급부를 포함하는 파우더 공급 유니트; 상기 노즐부와 상기 기판 스테이지 사이에 배치되고 상기 태양전지 전극의 형성을 위하여 상기 전극 노즐로부터 분사된 상기 금속 파우더 에어로졸 및 상기 페시베이션 노즐로부터 분사된 상기 세라믹 파우더 에어로졸의 관통을 허용하는 슬릿부;를 구비하는 태양전지 전극 및 페시베이션층 제조 장치를 제공한다.
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
| 태양전지 도선 전극 제조 장치 | 2011년 2월 10일 | ||
| 무기물 박막 태양전지 제조 장치 | 2011년 2월 10일 | ||
| 태양전지 제조 장치 및 이의 제조 방법 | 2011년 6월 22일 | ||
| 태양전지 그리드 전극 제조 장치 및 이를 사용한 그리드 전극 제조 방법 | 2011년 2월 24일 | ||
| 무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제어 방법 | 2012년 1월 18일 | ||
