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개선된 SAX 기법 및 RTC 기법을 이용한 공정 모니터링 장치 및 방법
| 특허명 | 개선된 SAX 기법 및 RTC 기법을 이용한 공정 모니터링 장치 및 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2018년 7월 13일 |
| 공개일 | 2019년 1월 24일 | 공고일 | 2020년 2월 20일 |
| 요약 |
공정 모니터링 방법이 개시된다. 상기 공정 모니터링 방법은 공정 모니터링 장치에 의해 수행되는 공정 모니터링 방법으로서, (a) 공정을 통해 측정되는 시계열 데이터를 수집하는 단계, (b) 임의의 중단점(break point) 에 대하여(여기서, 는 기 설정된 알파벳 크기) 상기 시계열 데이터를 심볼화하여 심볼화된 데이터를 생성하는 단계, (c) 상기 심볼화된 데이터와 상기 시계열 데이터간에 MSE(mean square error)를 계산하는 단계, (d) 상기 계산된 MSE가 가장 작을 때의 심볼화된 데이터에 대한 중단점을 최적 중단점으로 결정하는 단계, 및 (e) 상기 심볼화된 데이터 중에서 상기 최적 중단점에서의 심볼화된 데이터에 대하여 RTC(real-time contrast) 기법을 적용하여 상기 공정의 이상여부를 탐지하는 단계를 포함한다.
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
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