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압력 측정 장치 및 그의 제조 방법
| 특허명 | 압력 측정 장치 및 그의 제조 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2018년 2월 26일 |
| 공개일 | None | 공고일 | 2019년 8월 30일 |
| 요약 |
본 발명은 압력 측정 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 압력 측정 장치는 서로 마주보는 제1 및 제2 기판들; 상기 제1 및 제2 기판들 사이에서, 상기 제1 기판 상에 위치되고, 긴 유기 리간드가 짧은 리간드로 치환된 은 나노 입자를 포함하는 제1 전극; 상기 제1 전극 및 상기 제2 기판 사이에서, 상기 제2 기판 상에 위치되는 제2 전극; 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에서, 상기 제1 전극 상에 위치되고, 그를 관통하는 적어도 하나의 에어 갭을 갖는 절연 층을 포함할 수 있다.
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