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압전 박막의 제조 방법 및 압전 박막을 이용한 압전 센서
| 특허명 | 압전 박막의 제조 방법 및 압전 박막을 이용한 압전 센서 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2020년 3월 31일 |
| 공개일 | 2020년 4월 8일 | 공고일 | 2020년 4월 23일 |
| 요약 |
본 발명은 압전 박막의 제조 방법 및 압전 박막을 이용한 압전 센서를 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 압전 센서는 기판; 상기 기판 상에 형성된 하부전극; 상기 하부전극 상에 형성된 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층; 상기 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층 상에 형성된 세라믹 압전 박막; 및 상기 세라믹 압전 박막 상에 형성된 상부전극을 포함하고, 상기 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층 및 상기 세라믹 압전 박막은 결정 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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