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무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제어 방법
| 특허명 | 무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제어 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2012년 1월 18일 |
| 공개일 | 2013년 7월 26일 | 공고일 | 2013년 9월 25일 |
| 요약 |
본 발명의 다른 일면에 따르면, 본 발명은, 챔버 내 장착되어 권취 가능한 태양전지 기판이 배치되고 상기 태양전지 기판에 열을 제공하는 스테이지 가열플레이트가 구비되는 기판 스테이지; 상기 챔버의 양단 측에 배치되고, 상기 태양전지 기판이 상기 챔버를 관통하여 가동되도록 상기 태양전지 기판을 일단에서 권출시키는 권출 롤러부와, 타단에서 권취시키는 권취 롤러부를 포함하는 롤투롤 유니트; 상기 챔버 내에 배치되고, 상기 태양전지 기판 상에 태양전지층을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 무기물 파우더를 포함하는 무기물 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 무기물 파우더 에어로졸을 공급하는 무기물 파우더 공급부를 구비하는 무기물 파우더 공급 유니트;를 구비하고, 상기 무기물 파우더를 상기 태양전지 기판에 증착시키는 무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제어 방법을 제공한다.
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
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