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압력 센서의 제조 방법 및 이로부터 제조된 압력 센서
| 특허명 | 압력 센서의 제조 방법 및 이로부터 제조된 압력 센서 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2019년 6월 13일 |
| 공개일 | None | 공고일 | 2020년 7월 17일 |
| 요약 |
본 발명은 압력 센서의 제조 방법 및 이로부터 제조된 압력 센서를 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 압력 센서의 제조 방법은 제1기판 상에 감지부를 형성하는 단계; 및 상기 감지부와 제2기판 상에 형성된 전극부를 결합시키는 단계;를 포함하고, 상기 감지부를 형성하는 단계는, 상기 제1기판 상에 전도성 물질을 도포하여 전도층을 형성하는 단계; 상기 전도층 상에 유기 리간드로 둘러싸인 절연성 물질을 도포하여 절연층을 형성하는 단계; 및 상기 절연층을 무기 리간드가 분산된 리간드 치환 용액에 접촉시켜 상기 절연성 물질의 유기 리간드를 무기 리간드로 치환하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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