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초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치, 그 물성 변화 방법 및 그 방법에 의해 물성이 변화된 무기물 나노 구조체
| 특허명 | 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치, 그 물성 변화 방법 및 그 방법에 의해 물성이 변화된 무기물 나노 구조체 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 4월 22일 |
| 공개일 | 2012년 10월 31일 | 공고일 | 2013년 9월 25일 |
| 요약 |
본 발명의 일 실시예에 의하면, 초점 전자빔을 이용하여 나노 구조체의 특정 부위에 전자빔을 조사하여 무기물 나노 구조체의 상태를 유지하면서 특정 부분에서의 나노 규모의 광학적 물성을 정량적으로, 그리고 정성적으로 개질할 수 있으며, 나노 구조체에 교번적으로 초점 전자빔을 조사하여 광발광 특성에 기반한 나노 바코드를 제조할 수 있다. 이를 위해 특히, 본 발명의 일 실시예는 무기물 나노 구조체; 무기물 나노 구조체에 초점이 맺히도록 나노 규모 전자빔을 조사하는 초점 전자빔 조사부; 및 무기물 나노 구조체의 나노 규모의 광학적 물성을 부분적으로 변화시키기 위해 나노 규모 전자빔의 조사 위치를 제어하는 초점 전자빔 제어부;를 포함하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치를 포함한다.
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
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