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산화물 반도체 나노 막대를 이용한 물질 감지 소자 및 그 제조 방법
| 특허명 | 산화물 반도체 나노 막대를 이용한 물질 감지 소자 및 그 제조 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 7월 15일 |
| 공개일 | 2013년 1월 23일 | 공고일 | 2013년 6월 11일 |
| 요약 |
산화물 반도체 나노 막대를 이용한 물질 감지 소자, 및 그 제조 방법이 개시된다. 산화물 반도체 나노 막대를 이용한 물질 감지 소자는 기판의 미리 설정된 영역에 형성된 복수의 전극, 및 복수의 전극 중 미리 설정된 전극 사이에 형성된 미리 설정된 산화물 반도체 나노 막대의 네트워크 구조를 포함한다. 전극 사이에 산화물 반도체 나노 막대의 네트워크 구조를 형성시킴으로써, 센서의 부피 대비 표면적을 개선하여 수소 가스를 넓은 농도 범위에서 효과적으로 감지할 수 있게 된다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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