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미세 유체 소자 및 상기 미세 유체 소자의 제조 방법
| 특허명 | 미세 유체 소자 및 상기 미세 유체 소자의 제조 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2017년 10월 18일 |
| 공개일 | 2019년 4월 26일 | 공고일 | 2019년 6월 26일 |
| 요약 |
일 실시예에 따른 미세 유체 소자는, 제1 압전기판; 상기 제1 압전기판의 상면과 서로 마주보도록 배치된 제2 압전기판; 상기 제1 압전기판의 상면에 패터닝되는 제1 트랜스듀서; 상기 제2 압전 기판의 하면에 패터닝되는 제2 트랜스듀서; 및 상기 제1 압전기판 및 상기 제2 압전기판 사이에 배치되는 미세유동 채널;을 포함하고, 상기 제1 트랜스듀서 또는 상기 제2 트랜스듀서에서 발생된 표면탄성파가 상기 미세유동 채널에 전달되어 상기 미세유동 채널 내 3차원 유동을 발생시킬 수 있다.
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
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