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블록 공중합체 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
| 특허명 | 블록 공중합체 및 이를 이용한 패턴 형성 방법 | ||
| 출원인 | 삼성디스플레이 주식회사|고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2010년 9월 30일 |
| 공개일 | 2012년 4월 9일 | 공고일 | 2017년 9월 26일 |
| 요약 |
본 발명의 한 실시예에 따른 패턴 형성 방법은 케텐 계열 랜덤 공중합체(ketene based random copolymer)와 블록 공중합체를 이용한다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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