기술 검색
진동 프로브 시스템
| 특허명 | 진동 프로브 시스템 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 11월 14일 |
| 공개일 | 2013년 5월 23일 | 공고일 | 2013년 9월 25일 |
| 요약 |
진동 프로브 시스템, 및 이를 이용한 마이크로 구조체 측정 방법이 개시된다. 진동 프로브 시스템을 이용한 마이크로 구조체 측정 방법은 유연 구조물에 부착된 스타일러스를 진동시키는 단계, 스타일러스의 변위를 측정하는 단계, 스타일러스의 변위를 이용하여 산출된 스타일러스의 진폭을 산출하는 단계, 및 진폭이 미리 설정된 크기로 유지되도록 스타일러스와 측정 대상물 사이의 거리를 제어하는 신호를 생성하는 단계를 포함한다.
|
||
관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
| 정형외과적인 인공 금속물 및 이의 제조 방법 | 2017년 9월 14일 | ||
| 다층 전극 구조물 | 2015년 3월 24일 | ||
| 이온 검출을 위한 국소 표면 플라즈몬 공명 센서용 프로브, 이를 이용한 이온 검출 방법 및 이온 검출 센서 | 2016년 6월 23일 | ||
| 나노다공성 캔틸레버 센서를 이용한 멀티센싱 플랫폼 | 2014년 5월 13일 | ||
| 유연 기판 구조물 및 이의 제조 방법 | 2016년 6월 1일 | ||
