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투명하고 구부림이 가능한 인버터 타입의 볼티지 소형 센서
| 특허명 | 투명하고 구부림이 가능한 인버터 타입의 볼티지 소형 센서 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2018년 12월 11일 |
| 공개일 | 2020년 6월 19일 | 공고일 | 2020년 11월 12일 |
| 요약 |
본 발명은 기판; 상기 기판 상에 배치되며, 제1영역 및 제2영역을 갖는 제1전극 상기 제1전극의 제1영역 상에 배치되는 유전층; 상기 유전층 상에 배치되는 제2전극; 상기 유전층 상에 배치되며, 상기 제2전극과 이격된 제3전극; 상기 유전층 상에 배치되며, 상기 제2전극 및 상기 제3전극 각각과 이격된 제4전극; 상기 제2전극과 상기 제3전극을 전기적으로 연결하는 제1채널층; 상기 제2전극과 상기 제4전극을 전기적으로 연결하는 제2채널층; 및 상기 제1채널층을 덮도록 상기 유전층 상에 배치된 패시베이션층; 을 포함하는 투명하고 구부림이 가능한 인버터 타입의 볼티지 소형 센서를 개시한다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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