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발광소자 및 이의 제조방법
| 특허명 | 발광소자 및 이의 제조방법 | ||
| 출원인 | 엘지이노텍 주식회사|고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2019년 8월 23일 |
| 공개일 | 2021년 3월 4일 | 공고일 | - |
| 요약 |
실시예에 따른 발광소자는, 상면에 형성된 복수의 돌출부를 포함하는 기판, 상기 기판의 상면 상에 배치되는 버퍼층, 상기 버퍼층 상에 배치되며 제 1 도전형 반도체층; 활성층 및 제 2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물, 상기 발광 구조물 상에 배치되는 전극 및 각각의 상기 복수의 돌출부 상에 배치되는 성장 방지층을 포함하고, 상기 복수의 돌출부 각각은 상기 성장 방지층이 배치되는 제 1 영역을 포함하고, 상기 돌출부의 제 1 영역 표면은 상기 기판의 상면에 대해 70도 미만의 경사각을 가진다. 또한, 실시예에 따른 발광소자의 제조방법은 기판 상에 복수의 돌출부를 형성하는 단계, 상기 기판 상에 제 1 패턴층을 형성하는 단계, 상기 복수의 돌출부 상에 성장 방지층을 형성하는 단계, 상기 기판 및 상기 성장 방지층 상에 버퍼층을 형성하는 단계, 상기 버퍼층 상에 제 1 도전형 반도체층, 활성층 및 제 2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물을 형성하는 단계 및 상기 발광 구조물 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제 1 패턴층을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 포토레지스트층을 형성하는 단계 및 상기 포토레지스트층을 식각하여 상기 제 1 패턴층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 성장 방지층을 형성하는 단계는 상기 제 1 패턴층 및 상기 돌출부 상에 상기 성장 방지층을 형성하는 단계 및 ...(이하생략)
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