기술 검색
공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
| 특허명 | 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2019년 1월 31일 |
| 공개일 | 2020년 8월 10일 | 공고일 | 2021년 3월 22일 |
| 요약 |
개시된 본 발명에 의한 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치는, 대상체를 촬영하는 촬영부 및 대상체와 촬영부 사이에 위치하여 촬영부에 의해 촬영되는 대상체의 분해능을 향상시키는 렌즈부를 포함하며, 렌즈부는 침지렌즈를 포함한다. 이러한 구성에 의하면, 대상체의 열적 및 전기적 특성 검측의 공간 분해능이 향상되어, 수 마이크로 이내의 대상체의 특성 검출에도 효과적이다.
|
||
관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
