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기계 학습 모델을 이용한 반도체 소자 테스트 장치 및 방법
| 특허명 | 기계 학습 모델을 이용한 반도체 소자 테스트 장치 및 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2019년 11월 18일 |
| 공개일 | None | 공고일 | 2021년 3월 22일 |
| 요약 |
본 발명은 반도체 소자의 출력 특성과 TEM/SEM 이미지에 대한 기계 학습을 수행하여 반도체 소자의 열화 조건을 결정 및 테스트하는 기술적 사상에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 본 발명은 다양한 조건에서 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하고, 전기적 특성이 측정될 시 TEM/SEM 이미지를 획득하여 측정된 전기적 특성과 TEM/SEM 이미지에 대하여 기계 학습을 수행함으로써 반도체 소자의 열화 조건을 보다 정확하게 결정하는 기술에 관한 것이다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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