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탄성파 필터 장치 및 이의 제조 방법
| 특허명 | 탄성파 필터 장치 및 이의 제조 방법 | ||
| 출원인 | 엘지이노텍 주식회사|고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2018년 3월 15일 |
| 공개일 | 2019년 9월 25일 | 공고일 | - |
| 요약 |
실시예에 기판 및 상기 기판 상에 배치되는 공진부를 포함하고, 상기 공진부는, 일면 및 상기 일면과 반대되고 상기 기판과 마주하는 타면을 포함하는 압전층, 상기 압전층의 일면 상에 배치되는 제 1 전극 및 상기 압전층의 타면 상에 배치되는 제 2 전극을 포함하고, 상기 압전층은 [0001] 방향으로 성장한 질화 알루미늄(AlN)을 포함한다. 또한, 실시예는 공진부를 형성하는 단계 및 상기 공진부와 기판을 연결하는 단계를 포함하고, 상기 공진부를 형성하는 단계는, 베이스 기판 상에 에피택셜층을 형성하는 단계, 상기 에피택셜층의 일면 상에 제 1 전극을 형성하는 단계, 상기 에피택셜층을 분리하는 단계 및 상기 에피택셜층의 일면과 반대되는 타면 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 에피택셜층은 제 1 방향으로 정의되는 [0001]방향으로 성장한 질화 알루미늄(AlN)을 포함한다.
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