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박막성장방법 및 박막의 결정상태를 바꾸는 방법
| 특허명 | 박막성장방법 및 박막의 결정상태를 바꾸는 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2018년 9월 21일 |
| 공개일 | 2019년 4월 3일 | 공고일 | 2021년 3월 10일 |
| 요약 |
본 발명은 박막형성에 관한 것이며, 보다 상세하게는 유동성지지층상의 베이스를 기판으로 하여 박막을 형성하는 구조와 방법에 관한 것이다. 본 발명의 박막성장구조는 유동성 지지층(supporting liquid), 상기 유동성 지지층의 상부 표면에 놓여진 베이스(base)와 상기 베이스 상에 성장되는 박막(thin film)으로 이루어진다.
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