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산화물/금속/산화물 다층박막 구조를 갖는 투명 전극 및 그 제조방법
| 특허명 | 산화물/금속/산화물 다층박막 구조를 갖는 투명 전극 및 그 제조방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2015년 10월 21일 |
| 공개일 | None | 공고일 | 2017년 2월 16일 |
| 요약 |
본 발명은 산화물/금속/산화물 다층박막 구조를 갖는 투명 전극 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는, 금속층; 및 상기 금속층의 상면 및 하면에 각각 적층된 산화물층을 포함하는 UV-LED용 투명 전극으로서, 상기 금속층의 두께는 11 nm 내지 19 nm이며, 상기 금속층의 두께 : 상기 각각 산화물층의 두께는 1 : 0.1 ~ 1의 비율로 적층된 것을 특징으로 하는 UV-LED용 투명 전극 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 자외선 영역으로부터 가시광선 영역에 이르기까지 높은 투과도를 지니면서도, 낮은 면저항값을 갖고, 상온 증착 공정에 의해서 제조되어 고온 열처리가 필요 없이 다양한 재질의 기판에 그대로 제조가 가능한 UV-LED용 투명전극을 제공할 수 있다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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