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CNT 전계 전자 방출원 및 그 제조 방법
| 특허명 | CNT 전계 전자 방출원 및 그 제조 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 2월 10일 |
| 공개일 | 2012년 8월 20일 | 공고일 | 2013년 2월 8일 |
| 요약 |
CNT(Carbon nanotube) 전계 전자 방출원의 제조 방법은, (a) 전도성 기판상에 포토레지스트층을 적층시키는 단계, (b) 상기 포토레지스트층에 미리 설정된 형상의 패터닝을 수행하여, 상기 전도성 기판의 일부를 노출시키는 단계, (c) 상기 전도성 기판의 노출된 영역에 전기영동방법에 따라 CNT 막을 형성시키는 단계, (d) 상기 전도성 기판상의 상기 포토레지스트층을 제거하는 단계 및 (e) 상기 포토레지스트층이 제거된 영역에 도금층을 형성하는 단계를 포함한다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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