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기울기 센서 및 그 제조 방법
| 특허명 | 기울기 센서 및 그 제조 방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2010년 12월 17일 |
| 공개일 | 2012년 6월 27일 | 공고일 | 2013년 2월 12일 |
| 요약 |
기울기 센서, 및 기울기 센서 제조 방법이 개시된다. 기울기 센서는 서로 마주 보는 기판, 및 각 기판에서 각각 형성되어 서로 접하고 압전 특성을 가지는 나노선을 포함한다. 이러한 구성으로 인해, 나노선을 이용하여 기울기 센서를 제조하면서도 부가적인 반도체 공정이 필요 없어 유독 물질의 발생을 줄일 수 있고 제조 비용을 절감할 수 있게 된다.
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| 특허명 | 출원일 | ||
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