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무기물 박막 태양전지 제조 장치
| 특허명 | 무기물 박막 태양전지 제조 장치 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 2월 10일 |
| 공개일 | 2012년 8월 20일 | 공고일 | 2012년 12월 31일 |
| 요약 |
본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판 상에 태양전지층을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 무기물 파우더를 포함하는 무기물 파우더 에어로졸을 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 무기물 파우더 에어로졸을 공급하는 무기물 파우더 공급부를 구비하는 무기물 파우더 공급 유니트; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되고 상기 태양전지층의 형성을 위하여 상기 노즐로부터 분사된 상기 무기물 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿부; 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 상기 태양전지층에 국부적 열에너지를 공급하는 도선 열에너지 제공부;를 구비하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치를 제공한다.
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관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
| 태양전지 도선 전극 제조 장치 | 2011년 2월 10일 | ||
| 태양전지 전극 및 페시베이션층 제조 장치 | 2011년 6월 22일 | ||
| 태양전지 제조 장치 및 이의 제조 방법 | 2011년 6월 22일 | ||
| 무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제어 방법 | 2012년 1월 18일 | ||
| 태양전지 그리드 전극 제조 장치 및 이를 사용한 그리드 전극 제조 방법 | 2011년 2월 24일 | ||
