기술 검색
대면적의 단결정 실리콘 웨이퍼 제조방법
| 특허명 | 대면적의 단결정 실리콘 웨이퍼 제조방법 | ||
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2011년 9월 1일 |
| 공개일 | 2013년 3월 11일 | 공고일 | 2018년 1월 2일 |
| 요약 |
본 발명에서는 리본 스트링법으로 실리콘 웨이퍼를 제조하는 방법에 있어서, 도가니에 벌크(bulk) 상태의 실리콘이 용융된 융액을 공급하는 단계; 상기 도가니에 스트링을 통과시키고, 스트링 사이에 단결정 실리콘 시드층을 용융된 실리콘과 접촉시키는 단계; 상기 스트링을 끌어올려 이동시켜 스트링 사이에 리본 결정을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 리본결정에서 스트링을 제거하는 단계;를 포함하는 대면적의 단결정 실리콘 웨이퍼 제조방법이 제공된다.
|
||
관련 특허
| 특허명 | 출원일 | ||
|---|---|---|---|
| 자성을 갖는 요크-쉘 구조의 마이크로스피어의 제조방법 | 2018년 9월 20일 | ||
| 이온샤워법을 이용한 실리콘 이종접합 태양전지 제조방법 | 2010년 9월 16일 | ||
| 금속/그래핀 투명전극을 포함하는 발광소자 및 이의 제조방법 | 2011년 1월 4일 | ||
| L-시스테인 생산용 변이미생물 및 이를 이용한 L-시스테인의 제조방법 | 2016년 1월 15일 | ||
| 질화규소 및 산화규소의 에칭을 위한 액상 첨가제, 이를 포함하는 실리콘 태양전지 전극 형성용 금속 잉크 및 실리콘 태양전지 전극의 제조방법 | 2011년 6월 28일 | ||
