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마이크로미터 이하의 필름 패터닝을 위한 저온 스핀코팅 공정 방법 및 장치
| 특허명 | 마이크로미터 이하의 필름 패터닝을 위한 저온 스핀코팅 공정 방법 및 장치 | ||
| 출원인 | 한국과학기술원|고려대학교 산학협력단 | 출원일 | 2019년 5월 2일 |
| 공개일 | 2020년 11월 11일 | 공고일 | 2021년 4월 23일 |
| 요약 |
본 발명은 유무기 하이브리드 물질을 이용한 용액 공정으로 마이크로미터 이하의 필름 패터닝을 실현하는 저온 스핀코팅 공정 방법 및 장치에 관한 것으로, 친수성막 기판을 제작하는 단계, 상기 친수성막 기판을 패터닝하는 단계, 상기 패터닝된 친수성막의 부분 영역에 소수성막을 코팅하여 가이드 기판을 제작하는 단계 및 상기 가이드 기판 상에 유무기 하이브리드 물질을 저온 스핀코팅하는 단계를 포함한다.
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